Načelo delovanja stroja za vakuumsko nanašanje

Stroj za vakuumsko premazovanje je naprava, ki na površino substrata nanese tanke kovinske plasti. Njegov osnovni princip delovanja je razdeljen na tri korake: čiščenje, izhlapevanje in nanašanje.
1. Čiščenje
Pred nanašanjem z izhlapevanjem je treba izparilno komoro očistiti. Ker so lahko na površini izparilne komore pritrjeni oksidi, maščobe, prah in druge snovi, bodo ti vplivali na kakovost filma. Čiščenje običajno uporablja kemične ali fizikalne metode.
2. izhlapevanje
Želeni material se segreje nad tališčem, tako da tvori plinaste molekule. Plinaste molekule nato v vakuumski komori uhajajo v komoro za uparjanje. Ta proces se imenuje izhlapevanje. Temperatura, tlak in hitrost izhlapevanja vplivajo na sestavo, strukturo in lastnosti filma.
3. Odlaganje
Plinaste molekule materiala v izparilni komori vstopijo v reakcijsko komoro skozi vakuumsko cev, reagirajo z aktivnim materialom in nato odložijo produkt na površino substrata. Ta proces se imenuje sedimentacija. Temperatura, tlak in hitrost nanašanja prav tako vplivajo na kakovost in učinkovitost filma.
2. Uporaba
Stroji za vakuumsko nanašanje se pogosto uporabljajo v znanosti o materialih, optiki, elektroniki in drugih področjih.
1. Znanost o materialih
Stroji za vakuumsko nanašanje lahko pripravijo tanke plasti različnih kovin, zlitin, oksidov, silikatov in drugih materialov ter se pogosto uporabljajo v premazih, optičnih filmih, optičnih pomnilnikih, zaslonih, tranzistorjih in drugih področjih.
2. Optika
Stroj za vakuumsko premazovanje lahko pripravi kovinske in zlitine filme z visoko odbojnostjo in optične filme s posebnimi funkcijami. Ti filmi se lahko uporabljajo v solarnih kolektorjih, visokozmogljivih elektronskih mikroskopih, aerogelih, UV/IR senzorjih, optičnih filtrih in na drugih področjih.
3. Elektronika
Stroji za vakuumsko nanašanje lahko pripravijo elektronske materiale in mikroelektronske naprave v nanometrskem merilu. Te filme je mogoče uporabiti v nanotranzistorjih, magnetnih spominih, senzorjih in drugih področjih.
Skratka, stroj za vakuumsko premazovanje ne more samo pripraviti različnih tankoslojnih materialov, ampak po potrebi pripravi tudi tanke filme s posebnimi funkcijami. V prihodnosti se bo tehnologija vakuumskega premazovanja bolj uporabljala in spodbujala.